Раздел
|
Электроника, радиотехника
|
Программа
|
Технологии и оборудование машиностроения 2006-2010
|
Область применения
|
Высокоразрешающие объективы предназначены для работы в спецтехнологическом оборудовании по производству фотошаблонов с уровнем обнаружительной способности 65 и 150 нм.
|
Описание продукции
|
Объективы ВОК-65, ВОК-150, ВОЛГ-200 — дифракционно ограниченные объективы, работающие в УФ- и ГУФ- световых диапазонах. Объективы ВОК-65, ВОК-150 обеспечивают возможность эффективной работы установок автоматического контроля топологии фотошаблонов с уровнем обнаружительной способности 65 и 150 нм; использование объектива ВОЛГ-200 в лазерном многоканальном генераторе изображений обеспечивает производство промежуточных фотошаблонов СБИС технологического уровня от 0,18 мкм.
|
Конкуренто- способность
|
Стоимость объективов технологического уровня 65 и 150 нм на международном рынке достигает 900–1000 тыс. долл. США. Средняя ориентировочная стоимость разработанных объективов составляет 367 тыс. долл. США.
|
Ожидаемые результаты применения
|
Расширение экспортного потенциала предприятия. Сохранение высокоинтеллектуальных рабочих мест. Снижение затрат при разработке и изготовлении оборудования.
|
Предложения по реализации
|
Внедрение технологии.
|
Степень готовности
|
Мелкосерийное производство.
|
Объект передачи прав
|
Опытный образец.
|
Форма передачи прав
|
Договор купли-продажи.
|
Предложения по сотрудничеству
|
 
|