Высокоразрешающие объективы для спецтехнологического и контрольного оборудования нового поколения
Раздел Электроника, радиотехника
Программа Технологии и оборудование машиностроения 2006-2010
Область
применения
Высокоразрешающие объективы предназначены для работы в спецтехнологическом оборудовании по производству фотошаблонов с уровнем обнаружительной способности 65 и 150 нм.
Описание
продукции
Объективы ВОК-65, ВОК-150, ВОЛГ-200 — дифракционно ограниченные объективы, работающие в УФ- и ГУФ- световых диапазонах. Объективы ВОК-65, ВОК-150 обеспечивают возможность эффективной работы установок автоматического контроля топологии фотошаблонов с уровнем обнаружительной способности 65 и 150 нм; использование объектива ВОЛГ-200 в лазерном многоканальном генераторе изображений обеспечивает производство промежуточных фотошаблонов СБИС технологического уровня от 0,18 мкм.
Конкуренто-
способность
Стоимость объективов технологического уровня 65 и 150 нм на международном рынке достигает 900–1000 тыс. долл. США. Средняя ориентировочная стоимость разработанных объективов составляет 367 тыс. долл. США.
Ожидаемые
результаты
применения
Расширение экспортного потенциала предприятия. Сохранение высокоинтеллектуальных рабочих мест. Снижение затрат при разработке и изготовлении оборудования.
Предложения по
реализации
Внедрение технологии.
Степень
готовности
Мелкосерийное производство.
Объект
передачи прав
Опытный образец.
Форма
передачи прав
Договор купли-продажи.
Предложения по
сотрудничеству
 
Организация- разработчик
УП «КБТЭМ-ОМО»
Адрес: 220763, г. Минск, Партизанский пр., 2
Тел.: +375 (17) 2261205
Факс: +375 (17) 2261205
E-mail: asm@kbtem.avilink.net
WWW: http://www.kb-omo.by
Директор: Аваков Сергей Мирзоевич

 

Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © ГКНТ 2011 г.,
© ГУ БелИСА 2011 г.